环氧乙烷对物品损坏小，由于环氧乙烷杀灭微生物是利用烷基化原理而非氧化过程，因此对物品损坏非常小，对不耐热仪器的灭菌有着非常广泛的应用。

环氧乙烷灭菌工艺相比辐照灭菌、蒸汽消毒、混合气体消毒、辐照消毒等更安全。

在灭菌设备验证中发现，国内制药行业在设备的验证过程中只注重热分布实验、热穿透实验、生物挑战实验，而忽略了其他一些会影响测量准确度的因素。而验证的间隔通常选择1年为一个周期，使某些重要过程存在一定风险，一般过程验证的频繁验性会增加了验证成本。仪器仪表灭菌温度验证中容易忽略的几个因素进行了初步分析，并对验证方案的设计和结果的处理进行了基本的阐述。

测量设备的校准：

灭菌设备中安装的测量设备应在其被使用的范围内进行校准，如：测温传感器、压力真空仪表、流量表、控制、监视和记录仪表等，其校准证书中应包含校准数据来源、名义测试值、实际测试值、校准技术以及能溯源到被认可国家标准的每个校准值的修正值。